数控晶圆倒角机

数控晶圆倒角机采用数控的方式对晶圆的外周或者倒角端面进行高精度加工，具有自动对位功能，同时倒角机下面为一体钢结构。有效地抑制了在倒角加工时砂轮的振动，可避免晶圆的缺损，机台工作底座，龙门架采用采用花岗岩，稳定，永不变形，除去铸铁时效处理等产生残余应力的可能。

　　数控晶圆倒角机为晶圆磨边、晶圆倒角的专用设备，利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用于2″- 6″晶圆、4″- 8″晶圆可加工T型、R型、RR型等多种边形的晶圆，按照设定参数数控自动倒角加工，可加工参考边型晶圆及圆片，自动进行粗研及精研加工，可加工方片等异形晶圆，可自动检测晶圆直径，配备晶圆清洗功能，配备晶圆干燥功能。